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碳化硅晶片廢水處理的流程和工藝和排放標(biāo)準(zhǔn)
時間:2023-03-07 13:54:22    來源:http://www.chinajld.net     作者:天澤環(huán)保

硅錠切片后,用水槍將硅片表面切削砂漿(由切削液和金剛砂配制,主要成分為聚乙二醇和碳化硅)和硅粉噴洗干凈,產(chǎn)生預(yù)清洗廢水。預(yù)清洗廢水水量大、有機物濃度高,是硅片生產(chǎn)廢水中最難處理的一股廢水。

昆明污水處理工程
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生產(chǎn)廢水主要包括:

(1)切磨廢水。開方硅錠經(jīng)少子壽命測試后,截斷無效部分,對斷面磨光打平,產(chǎn)生研磨廢水,廢水主要成分為硅粉。

(2)預(yù)清洗廢水。

(3)超聲波清洗廢水。酸洗后硅片采用超聲波技術(shù)用大量超純水清洗,該股廢水水量大,污染較小。廠區(qū)目前生產(chǎn)廢水約960m3/d,已接近滿負荷生產(chǎn)。

生產(chǎn)廢水處理方法

1、物理法。格柵是由一組平行的金屬柵條制成的金屬框架,斜置在廢水流經(jīng)的渠道上,或泵站集水池的進口處,用以截阻大塊的呈懸浮或漂浮狀態(tài)的固體污染物??梢詫尉Ч鑿U水中的大顆粒物質(zhì)進行攔截,進而回收可用物質(zhì)。

2、物化處理法。將廢水經(jīng)過提升泵抽送的作用下抵達到沉淀池,投入絮凝劑。其中懸浮物的膠體及分散顆粒在分子力的相互作用下生成絮狀體且在沉降過程中它們互相碰撞凝聚,其尺寸和質(zhì)量不斷變大,沉速不斷增加,然后沉淀。



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